皇冠信用网代理注册 _国产高端光刻机再突破：芯上微装首台350nm步进光刻机发运

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2025年11月25日，上海芯上微装科技股份有限公司（以下简称“AMIES”或“芯上微装”）宣布，公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200 ）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场皇冠信用网代理注册 。

芯上微装表示，这标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破！这不仅是一次产品的交付，更是国产半导体装备向高端化、自主化迈进的重要里程碑皇冠信用网代理注册 。

△350nm步进光刻机（AST6200）发运仪式合影

随着5G通信、新能源汽车、光通信、激光雷达、Micro LED新型显示等新兴产业的迅猛发展，化合物半导体正成为支撑下一代信息技术的核心力量皇冠信用网代理注册 。以碳化硅（SiC）为代表的化合物半导体材料，因其高频率、高功率、高耐温与高效率特性，在功率器件、射频前端、光电子芯片等领域展现出不可替代的优势。

据市场研究机构预测，到2030年化合物半导体器件市场规模将达到250亿美元，增速几乎是整体市场的两倍皇冠信用网代理注册 。然而，高性能芯片的制造离不开高精度、高稳定性的光刻工艺支持。长期以来，高端光刻设备被国外厂商垄断，严重制约我国产业链自主可控进程。

芯上微装表示，公司应势而生，推出AST6200光刻机，为国产化合物半导体制造提供了强有力的核心装备支撑皇冠信用网代理注册 。

据介绍，AST6200光刻机是芯上微装基于多年光学系统设计、精密运动控制与半导体工艺理解积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备，专为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景量身定制皇冠信用网代理注册 。

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△芯上微装首台350nm步进光刻机（AST6200）

芯上微装AST6200具有以下五大特点

1、高分辨率成像

可满足先进工艺需求，搭载大数值孔径投影物镜，结合多种照明模式与可变光瞳技术，实现350nm高分辨率，满足当前主流化合物半导体芯片的光刻工艺要求皇冠信用网代理注册 。

2、高精度套刻

配置高精度对准系统，实现正面套刻80nm，背面套刻500nm，确保多层图形精准套刻，提升器件良率皇冠信用网代理注册 。

①高照度I-line光源（365nm）

②高速直线电机基底传输系统皇冠信用网代理注册 ，支持2/3/4/6/8英寸多种规格基片快速切换

③高速高精度运动台系统皇冠信用网代理注册 ，最大加速度1.5g，大幅提升单位时间产能

3、强工艺适应性皇冠信用网代理注册 ，兼容多材质、多形态基底

①支持Si、SiC、InP、GaAs、蓝宝石等多种材质基片

②兼容平边、双平边、Notch等多种基片类型

③创新调焦调平系统皇冠信用网代理注册 ，采用多光斑、大角度入射设计，可精准测量透明、半透明、不透明及大台阶基底

④支持背面对准模块皇冠信用网代理注册 ，满足键合片等复杂制程的背面对准需求

4、100%软件自主可控

打造全栈国产生态，AST6200搭载芯上微装自主研发的全栈式软件控制系统，从底层驱动到上层工艺管理，实现完全自主主权皇冠信用网代理注册 。系统具备强大的工艺扩展性与远程运维能力，持续赋能设备生命周期，助力客户实现智能化产线升级。

芯上微装表示，公司致力于为全球客户提供高性能、高可靠性、国产化替代的核心光刻解决方案皇冠信用网代理注册 。公司拥有一支由光学、机械、控制、软件与半导体工艺专家组成的顶尖研发团队，掌握多项核心专利技术，在投影物镜、精密运动台、曝光系统等领域实现关键技术自主突破。

此次AST6200的成功发运，不仅是芯上微装技术实力的集中体现，更是我们践行“装备强国、芯上担当”使命的坚定步伐皇冠信用网代理注册 。未来，我们将持续加大研发投入，深耕化合物半导体、先进封装、新型显示等前沿领域，不断推出更具竞争力的国产光刻装备，助力客户降本增效、提升核心竞争力。

首台AST6200的发运，只是一个开始皇冠信用网代理注册 。芯上微装将以此次交付为契机，与产业链上下游伙伴紧密协作，加速推进国产光刻设备在更多应用场景的落地与验证。

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